Velegnet til renrum over lange afstande

Innovativ renrumsløsning til bevægelser på op til 30 m

Den nye version af C6-energikæden til renrum har et revolutionerende styresystem. Det er kompakt og holdbart og gør det muligt for producenterne at styre energi og data selv på meget lange strækninger i produktionsmiljøer med renrum.

Automatiseret wafertransport i renrum

På moderne halvlederfabrikker gennemgår siliciumskiver mange procestrin - fra litografi og ætsning til doping og metallisering. Disse processer finder sted i forskellige faciliteter, som ofte ligger langt væk fra hinanden. På grund af de strenge krav til renhed og partikelfrihed er manuel transport i renrummet ikke mulig. En gennemprøvet løsning er OHT (overhead hoist transport) - et skinnestyret transportsystem, der flytter FOUP'erne over hovedhøjde og udnytter pladsen i renrummet optimalt. Ud over transport er opbevaring i såkaldte stockers også ekstremt vigtig. Disse systemer stiller høje krav til energiforsyningen: Kablerne, der forsyner OHT-enhederne med strøm og overfører data, skal styres pålideligt i dynamiske og ofte trange renrumsmiljøer - igus tilbyder nu en innovativ ny løsning til dette.

• Slidstærk og ISO-certificeret af Fraunhofer IPA
• Pålidelig på lange rejser
• Modulær og med lav vedligeholdelse - ideel til brug i højautomatiserede renrumsmiljøer

Højeste renrumsegnethed, næsten ingen slid, høj stabilitet

Slidstyrke er den afgørende parameter for anvendelse af energikæder i renrum. C6-energikædeserien sætter standarder her. Sliddet er næsten ikke målbart. Det kunne næsten ikke være bedre: Selv under høje belastninger kan der ikke måles noget slid på den nye C6-energikæde til renrum. Andre fordele er den ekstremt støjsvage drift og den nemme montering.

Teknikken er på plads:

• Optimeret design uden målbar slitage
• Til anvendelse i ISO renrumsklasse 1
• Høj stabilitet takket være robust stop-dog-system
• Jævnt løb på grund af formstøbt dæmpningselement
• Sidepaneler af ESD-materiale forhindrer statisk opladning