Energikæder, kabler og lejeteknologi til halvlederindustrien

Halvlederproducenter bestræber sig på at opnå høje produktivitetsrater. Den samlede udstyrseffektivitet (OEE), som kan øges med løsninger fra igus, er derfor vigtig. Vores energiforsyning og kabler til renrumsapplikationer understøtter høj produktionskvalitet, da de er fremstillet af højtydende plast, der er slidstærkt og har lav afgasning. De er kompakte, kræver lidt vedligeholdelse, er nemme at montere og er omkostningseffektive. De har også et modulært design, så systemoperatører kan udvide dem når som helst. Vores produkter, som øger OEE i halvlederindustrien verden over, bruges bl.a. i maskiner og systemer til lasermærkning, EUV-litografi og automatisk optisk inspektion (AOI).

Udvalgte produkter til halvlederindustrien

Fladkabelstyringssystem e-skin flad og CFCLEAN snoet struktur

► Renrumskompatibel i henhold til IPA ISO klasse 1
► Modulært og kompakt design
► Kabler kan udskiftes på få minutter
► Med koordineret CFCLEAN-trådstruktur for høj pålidelighed
► Tilgængelig fra lager
► Ingen minimumsordreantal

Opdag det nu

Bestil et gratis fladt kabelsystem e-skin flat

Er du interesseret i vores rene flade kabelsystem e-skin flat, men vil gerne holde det i hænderne for at træffe en endelig beslutning og få det bedst mulige indtryk?
Så er du velkommen til at bestille en gratis prøve hos os.

Bestil en gratis prøve nu

To-delte korrugerede rør

Renrumskompatible i henhold til IPA ISO klasse 1
To dele, bestående af øvre og nedre skal
"Hurtig montering takket være lyn" -funktion
Til hurtige, korte applikationer uden understøtning

e-skin bølgepaprør

e-kæde til høj dynamik

Renrumskompatibel i henhold til IPA ISO klasse 1
Optimeret design uden målbart slid
Særligt støjsvag drift
Sidedele lavet af materialet ESD, der forhindrer statisk opladning

e-kæde C6

Kabler i renrum

Med meget slidstærke kappematerialer
Garanteret levetid på 20 millioner slag med en radius på 70 mm
Kombinationen af CFCLEAN og e-skin flat

er certificeret i henhold til renrumsklasse 1

Renrumskabler

Tørtløbende lineære føringer

Ingen smøring eller vedligeholdelse
Certificeret til brug i renrum i henhold til ISO-klasse 6 til 3
Særligt støjsvag drift

drylin-lineærføringer

Drejekransleje for minimal partikeludledning

Monteringsklart drejekransleje til smørefri tør drift
Vedligeholdelsesfrie glideelementer med lav partikelemission
Ring fremstillet af letvægtsanodiseret aluminium

PRT-04 svingringelejer

Smørefrie og vedligeholdelsesfrie kuglelejer

Kuglelejer fremstillet af højtydende plast til tør drift med lav friktion
Omkring 50% mere omkostningseffektive og lettere end konventionelle kuglelejer i rustfrit stål

xiros-kuglelejer

Whitepaper

Energiforsyningssystemer til renrum

I denne hvidbog kan du læse, hvordan du kan bruge den rigtige energiforsyning i renrummet til at

øge anlægseffektiviteten
opnå højere produktionsudbytte
bruge energiforsyningssystemer mere bæredygtigt

Download nu for at få mere at vide

Eksempler på kundeanvendelser

Dissipative ESD-energikæder og smørefrie lejer til test af printkort

Flying probe-testere bruges f.eks. til at kontrollere, om printkort fungerer fejlfrit. Nåle berører og måler de elektroniske komponenter som f.eks. printkort under accelerationer på op til 15 g. For at sikre, at testhovederne forsynes pålideligt med energi og data, bruges der dissipative ESD-energikæder i SPEA's flying probe-tester. drylin lineære lejer muliggør også helt smørefri og vedligeholdelsesfri formatjustering uden risiko for forurening af de elektroniske komponenter.

Se mere om denne anvendelse

e-skin flat i brug i et lineært system med luftlejer

Lineært system med luftlejer til justeringer med høj præcision

Et fladt e-skin SKF12.4.03.01.1 som et 4-dobbelt lag sammen med PVC & TPE-kabler fra igus sikrer den pålidelige energiforsyning til et lineært system med luftlejer.

Se mere om denne anvendelse

Energiforsyning på volumenmønstergeneratoren

Kabelføring i volumenmønstergeneratoren med over 31 millioner cyklusser om året

Energiforsyningen i disse volumenmønstergeneratorsystemer skal køre helt problemfrit i renrummet på trods af kontinuerlig drift. Her bruges en flad e-skin.

Se mere om denne anvendelse

Fixload-halvlederautomatiseringssystem fra Brooks-virksomheden

Automatiseringssystem til halvledere

Energikæder i E6- og E14-serien bruges i produktionen af Fixload-halvlederautomatiseringssystemet. Der kræves ren luft til det følsomme anvendelsesområde for indlæsningsgrænsefladen til 300 mm waferbehandlingsenheder. E-kæderne opfylder kravene: De er slidstærke og egnede til IPA ISO klasse 2 og 3 renrum.