BrugerrapportKabler til renrummet, med over 31 millioner cyklusser om året

• Hvad der var brug for: Båndkabel e-skin® flad
• Krav: Høj præcision, korte cyklustider og pålidelighed i kontinuerlig drift
• Branche: Halvlederproduktion
• Succes for kunden: Applikationen har bevist sit værd i et år med cyklustider på omkring 1 sekund og dermed mere end 31 millioner cyklusser om året.

Volume Pattern Generator" systemer, forkortet VPG, fra Heidelberg Instruments bruges hovedsageligt i industriel masseproduktion. De bruger UV-lasere til at generere fotomasker med høj præcision og hastighed, som fungerer som skabeloner til produktion af mikrochips, sensorer, LED'er og MEMS (mikroelektromekaniske systemer). Andre mulige anvendelser for VPG-systemer omfatter direkte skrivning af mikrostrukturer på wafere.

Ud over ekstremt høj præcision er 24/7-drift og meget korte cyklustider hvert sekund en del af kravprofilen for drevene i systemerne. Michael Kappel, chef for elektrisk design: "Det er derfor, vi udvikler mange kernekomponenter, herunder luftbårne XY-borde, in-house." Da eksponeringsprocessen foregår under renrumsbetingelser, skal drevkomponenterne vælges i overensstemmelse hermed. Det gælder især energi-, signal- og medieforsyningslinjerne til XY-bordet. Selv de mindste støvpartikler forringer eksponeringens kvalitet. Et andet krav er mindst lige så vigtigt. Kappel: "Selv den mindste forstyrrelse i løbet af energiforsyningen skal undgås, da det reducerer eksponeringens præcision."

Under dette udviklingsprojekt præsenterede igus® e-skin® flat: et nyt kabelføringskoncept, der gør op med de kæder, der tidligere blev brugt. I stedet føres kabler og slanger i flade profiler - såkaldte pods - som kan åbnes og lukkes individuelt efter behov. Dette kompakte system tillader en meget lille bøjningsradius og er modstandsdygtigt over for slitage og slid under bevægelse, også fordi der ikke er nogen kædeled, der rører hinanden. Det betyder, at det kan bruges i renrum - selv i flere lag - hvilket bekræftes af tests udført af Fraunhofer IPA. Innovationen kom på det rigtige tidspunkt: Designingeniørerne i Heidelberg byggede en demonstrator til udholdenhedstest med den nye energiforsyning, som nu har gennemført 120 millioner cyklusser med ISO 1 i igus® testlaboratorium. Kablet bestod testen til brugerens fulde tilfredshed. igus® udførte de sidste justeringer af fastgørelseselementerne - og det nye energiforsyningssystem til de små "" VPG- og ULTRA-systemer var færdigt.

Denne løsning har nu været i brug i godt et år og har bevist sit værd i praksis, selv i meget dynamiske applikationer med cyklustider på omkring et sekund - det er mere end 31 millioner cyklusser om året. Heidelberg Instruments bruger igus® chainflex® kabler af høj kvalitet med en slidstærk TPE-kappe.